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現場の即戦力 前田和夫 技術評論社ハジメテ ノ ハンドウタイ プロセス マエダ,カズオ 発行年月：2011年08月 ページ数：291p サイズ：単行本 ISBN：9784774147499 前田和夫（マエダカズオ） 1959年横浜国立大学工学部化学工学科卒業。1959〜1978年富士通（株）勤務。1977年東京大学より工学博士号授与。1978〜1982年パイオニア（株）勤務。1979年米国SEMI（半導体装置材料協会）よりSEMMY賞授与。1982〜1988年アプライドマテリアルジャパン（株）勤務。1988年（株）半導体プロセス研究所設立。2008年9月逝去（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです） 1章 はじめての半導体プロセス/2章 半導体デバイスの種類と構造/3章 半導体プロセスの技術史/4章 半導体プロセスの概要/5章 基本プロセス技術/6章 複合プロセス技術ープロセスインテグレーション/7章 プロセス技術と装置・材料/8章 新しいプロセス技術のニーズ/9章 これからの半導体プロセス 本 科学・技術 工学 電気工学
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